LUPHOScan HD非接触式三维形状测量设备

LUPHOScan HD

用于测量非球面、自由曲面光学元件和透镜模具的非接触式三维形状/外形测量设备。
LUPHOScan HD非接触式三维光学轮廓仪可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行高精度的非接触式三维轮廓测量。LUPHOScan HD的稳定性是Lin先的，特别在一些严苛的环境下，也能保证对非球面和自由曲面进行高精度地快速轮廓测量，新一代LUPHOScan HD三维轮廓仪是在高达 90°的采样斜率上精度优于 50 nm (3σ) 的仪器。
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域。新一代的测量系统能够测量物件角度大至90° 度，绝对测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着很高的重复性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260/420 HD是对高精度有着很高要求应用的理想选择，是生产过程控制的基本要求。可测量坡度很高的表面、具有不同间距方向的表面、很小的表面例如手机镜头模具。

Technology	Accuracy
在测量过程中，探头对被测物体的整个表面执行螺旋扫描，并生成高密度3D数据。 通过使用空气轴承主轴旋转物体来实现扫描，同时使用线性平台使传感器径向和轴向移动。 旋转平台使传感器垂直于物体表面。 移动平台的布局提供了很高的灵活性，即使对于不常见的表面形状（包括陡峭的坡度或带有拐点的轮廓）也是如此。 基于所采用的MWLI传感器技术的绝对测量能力，计量仪器还可以检查不连续的光学器件，例如分段表面，环形透镜，非球面透镜和轴锥。 此外，LuphoSwap扩展组件还可以确定透镜的厚度以及楔形和偏心误差。 它的软件还可以用于分析（全自动）光学表面相对于用户定义的参考表面的定位，例如镜片周边，任何镜片安装座或模具镜筒。	LuphoScan平台可提供出色的形状测量精度。 这是通过特别的参考框架概念和遵循阿贝原理的精密的参考传感器布置实现的。 在LuphoScan 260 HD平台中，通过选择新的材料，改进的传感器控制，实时包括周围环境以及先进的校准功能对概念进行了优化。 这样，高清系统在90°范围内提供的绝对测量精度优于±50 nm（3σ）。 此外，测量结果的可重复性和本底噪声得到了非常大的改善。 下图显示了在高达90°的重复测量中确定的校准球（D = 25 mm）的功率和PV误差变化的示例。 在14小时的测量期间内，功率和PV的变化分别保持小于±15 nm和±5 nm。

测量能力非常高

HD = 高分辨率
快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量

高精度 - 物件坡度高至90°。
是测量大的、陡峭的和很小的非球面镜头（如手机镜头模具）的理想选择

测量结果很高的重复性
Power和PV测定参数的稳定性

系统噪音很低
坚固耐用，不受环境变化的影响