测针是测量系统的组成部分,它与被测工件接触,使测头机构产生位移。所产生的的信号处理得出测量结果。被测工件的外形特征将决定要采用的测针类型和大小。在所有的情况下,测针的*大刚度和测球的球度都至关重要。
测球材料特性 |
|||||||||||
测针类型 |
材料 |
等级 |
球度 |
结构 |
成分 |
纯度 |
密度 |
硬度 |
抗压强度 |
弯曲强度 |
断裂韧度 |
|
|
|
(μm) |
﹣ |
(wt%) |
(%) |
(g/cm³) |
HV |
(MPa) |
(MPa) |
(MN/M³/²) |
Al₂O₃红宝石测球 |
人造红宝石单晶体 |
5级* |
0.13 |
单晶 |
99%Al₂O₃ |
99.90 |
3.90 |
1800 |
2100 |
390 |
1 |
氮化硅测球 |
硬质模压Si₃N₄ |
5级* |
0.13 |
多晶 |
Si₃N₄ |
90 |
3.0-3.2 |
1600 |
3000 |
1000 |
6 |
氧化锆测球 |
烧结ZrO₂ |
5级* |
0.13 |
多晶 |
ZrO₂ |
90-95 |
6.05 |
1200 |
2000 |
700-1100 |
10 |
氧化铝空心测球 |
陶瓷Al₂O₃ |
﹣ |
1 |
多晶 |
Al₂O₃ |
99.80 |
3.8-3.9 |
1570 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
银质钢盘形测针 |
银质钢 |
﹣ |
1 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
450 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
银质钢简易柱形测针 |
银质钢 |
﹣ |
圆度4μm |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
200 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
红宝石柱形测针 |
人造红宝石 |
测球5级* |
测球的球度:0.13 同心度:测球/柱形4μm |
单晶 |
99%Al₂O₃ |
99.90 |
3.90 |
1800 |
2100 |
390 |
1 |
碳化钨柱形测针 |
碳化钨 |
﹣ |
+20μm端头半径 |
﹣ |
92-93.5%WC 6.5-8%CO |
14.8 |
14.95 |
1550 |
6000 |
﹣ |
﹣ |
银质钢尖测针 |
银质钢 |
﹣ |
锥角30° |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
8 |
300 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
碳化钨测针 |
碳化钨 |
﹣ |
锥角30° |
﹣ |
92-93.5%WC 6.5-8%CO |
99.90 |
15 |
1550 |
6000 |
﹣ |
﹣ |
氧化铝空心测球 |
铝合金6082-T6 |
﹣ |
30μm |
﹣ |
95.2-98.3%Al |
﹣ |
2.7 |
95 |
﹣ |
﹣ |
﹣ |
测杆材料特性 |
|||
材料 |
25℃时的膨胀系数 |
![]() |
|
不锈钢 |
16x10⁻⁶/℃ |
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碳化钨 |
5x10⁻⁶/℃ |
||
陶瓷 |
8.1x10⁻⁶/℃ |
||
碳纤维 |
-0.4x10⁻⁶/℃ |
||
钛 |
9.2x10⁻⁶/℃ |
A 测球直径 |
φ M2=3mm |
红宝石 |
4.5x10⁻⁶/℃ |
B 总长度 |
φ M3=4mm |
氮化硅 |
3.2x10⁻⁶/℃ |
C 测杆直径 |
φ M4=7mm |
氧化锆 |
10.5x10⁻⁶/℃ |
D 有效工作长度 |
φ M5=10mm |