Tropel UltraSortII半自动FlatMaster晶圆计量系统

Tropel UltraSortII FlatMaster半自动晶圆（SAW）计量模块延续了我们40年来为半导体晶圆制造商提供计量解决方案的传统。专为批量生产的晶圆而设计，该自动化系统在快速，可重复，准确，非接触式硅和替代基板晶圆的鉴定中提供了卓越的性能。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系统将掠入射干涉仪与自动台架集成在一起，以改善晶片装载和测量可重复性。 Tropel UltraSort II FlatMaster SAW可以配置为测量直径2英寸到8英寸的晶圆尺寸，可以现场升级到全自动和分选，并且非常适合各种不同的材料，包括碳化硅，砷化镓，蓝宝石，石英，锗，硅等。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系统提供了掠入射干涉测量法的功能，使Tropel FlatMaster系统成为精密平面度的行业标准。